Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces IX (eBook, PDF)

Redaktion: Mertens, Paul; Heyns, Marc; Meuris, Marc

• Format: PDF

Produktbeschreibung

UCPSS 2008

Selected, peer reviewed papers from the 9th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS), held in Bruges, Belgium, September 22-24, 2008

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Produktdetails

• Verlag: Trans Tech Publications
• Seitenzahl: 412
• Erscheinungstermin: 6. Januar 2009
• Englisch
• ISBN-13: 9783038132820
• Artikelnr.: 53014073