Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces VIII (eBook, PDF)

Redaktion: Mertens, Paul W.; Heyns, Marc; Meuris, Marc

• Format: PDF

Produktbeschreibung

Selected, peer reviewed papers from the 8th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS) held in Antwerp, Belgium, September 18-20, 2006

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Produktdetails

• Verlag: Trans Tech Publications
• Seitenzahl: 400
• Erscheinungstermin: 20. November 2007
• Englisch
• ISBN-13: 9783038131953
• Artikelnr.: 53525165