Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XII (eBook, PDF)

Redaktion: Mertens, Paul; Heyns, Marc; Meuris, Marc

• Format: PDF

Produktbeschreibung

Selected, peer reviewed papers from the 12th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS), September 21-24, 2014, Brussels, Belgium

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Produktdetails

• Verlag: Trans Tech Publications
• Seitenzahl: 350
• Erscheinungstermin: 26. September 2014
• Englisch
• ISBN-13: 9783038266266
• Artikelnr.: 52929163