Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XV (eBook, PDF)

Redaktion: Mertens, Paul W.; Heyns, Marc; Meuris, Marc; Wostyn, Kurt

• Format: PDF

Produktbeschreibung

Selected peer-reviewed full text papers from the 15th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS)

Selected, peer-reviewed papers from the 15th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS), April 12-15, 2021, Mechelen, Belgium

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Produktdetails

• Verlag: Trans Tech Publications
• Seitenzahl: 340
• Erscheinungstermin: 9. Februar 2021
• Englisch
• ISBN-13: 9783035738018
• Artikelnr.: 69052391