Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XVI (eBook, PDF)

Redaktion: Mertens, Paul W.; Le, Quoc Toan; Wostyn, Kurt; Pacco, Antoine

• Format: PDF

Produktbeschreibung

Selected peer-reviewed full text papers from the 16th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS 2023)

Selected peer-reviewed full text papers from the 16th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS 2023), September 12-14, 2023, Brugge, Belgium

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Produktdetails

• Verlag: Trans Tech Publications
• Seitenzahl: 386
• Erscheinungstermin: 14. August 2023
• Englisch
• ISBN-13: 9783036413129
• Artikelnr.: 69052310