Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces IV (eBook, PDF)

Redaktion: Heyns, Marc; Mertens, Paul; Meuris, Marc

• Format: PDF

Produktbeschreibung

Proceedings of the Fourth International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS '98), held in Ostend, Belgium, September 1998

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Produktdetails

• Verlag: Trans Tech Publications
• Seitenzahl: 316
• Erscheinungstermin: 21. November 1998
• Englisch
• ISBN-13: 9783035706833
• Artikelnr.: 69101526