Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces VII (eBook, PDF)

Redaktion: Mertens, Paul; Heyns, Marc; Meuris, Marc

• Format: PDF

Produktbeschreibung

UCPSS 2004

Proceddings of the 7th International Symposium on Ultra Cleyn Processing of Silicon Surfaces (UCPSS), Brussels, Belgium, Sept. 20-22, 2004

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Produktdetails

• Verlag: Trans Tech Publications
• Seitenzahl: 398
• Erscheinungstermin: 1. April 2005
• Englisch
• ISBN-13: 9783038130253
• Artikelnr.: 52950626