Fiziko-himicheskie osnowy proektirowaniq mikro- i nanoälektroniki

Rassmotreny teoreticheskie osnowy chistyh pomeschenij, fil'traciq wozduha, sistemy kondicionirowaniq wozduha dlq chistyh pomeschenij, mikroklimat proizwodstwennyh pomeschenij, wentilqciq proizwodstwennyh pomeschenij, osweschenie proizwodstwennyh pomeschenij, a takzhe attestaciq, äxpluataciq i proektirowanie chistyh pomeschenij dlq mikroälektronnoj promyshlennosti. Predstawleny kontrol'nye woprosy. Ris. 41. Tabl. 28. Bibliogr.: 24 nazw.