Artöm Kriworuchko, Oleg Alexandrow

Diffuziq primesej w poluprowodnikah

Vliqnie nerawnowesnyh uslowij

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Produktbeschreibung

V sowremennom poluprowodnikowom proizwodstwe tehnologicheskie processy harakterizuütsq malymi dlinami i korotkimi wremenami, chto zachastuü priwodit k wozniknoweniü nerawnowesnyh uslowij, takih kak narushenie lokal'noj älektronejtral'nosti (JeN), otklonenie ot rawnowesiq w kwazihimicheskih reakciqh mezhdu primesqmi, defektami i ih komplexami, obrazowanie nerawnowesnyh koncentracij sobstwennyh tochechnyh defektow (STD), kontroliruüschih diffuziü. V rabote predstawleny rezul'taty issledowaniq sowmestnoj diffuzii ionizowannyh primesej pri narushenii lokal'noj JeN; diffuzii primesi w uslowiqh narusheniq rawnowesiq po STD; getterirowaniq zagrqznqüschej primesi odnorodno i neodnorodno legirowannymi sloqmi, a takzhe getterirowaniq primesi, diffundiruüschej po mehanizmu wytesneniq. Awtorami podrobno rassmotreny suschestwuüschie matematicheskie modeli diffuzii i metody resheniq diffuzionnyh urawnenij. Kniga budet polezna kak studentam i aspirantam tak i professionalam w oblasti poluprowodnikowogo proizwodstwa pri razrabotke programm fiziko-tehnologicheskogo modelirowaniq, a takzhe pri raschöte tehnologicheskih processow izgotowleniq IMS ili silowyh priborow.

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Produktdetails

• Verlag: LAP LAMBERT Academic Publishing
• Seitenzahl: 124
• Erscheinungstermin: 12. Mai 2011
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 8mm
• Gewicht: 203g
• ISBN-13: 9783843314565
• ISBN-10: 384331456X
• Artikelnr.: 62678145

Autorenporträt

Kriworuchko Artem Alexandrowich: Kandidat Fiziko-metematicheskih nauk, SPbGJeTU "LJeTI", Sankt-Peterburg. Alexandrow Oleg Viktorowich: Doktor Fiziko-matematicheskih nauk, Professor kafedry älektronnogo priborostroeniq SPbGJeTU "LJeTI", Nachal'nik laboratorii w ZAO "Swetlana-Poluprowodniki", Sankt-Peterburg.