Herausgeber: Prof. Dr. Gerhard Blasek und Prof. Dr. Günter Bräuer, unter Mitarbeit folgender Autoren: Prof. Dr. Karlheinz Blankenbach, Dr. Ronny Brandenburg, Dr. Volker Bucher, Dr. Bernhard Cord, Dr. Jörg Ehlbeck, Dr. Elke Erhart, Dr. Werner Fleischer, Prof. Dr. Jörg Friedrich, Prof. Dr. Frank Gräbner, Dr. Werner Grimm, Dr. Reiner Grün, Dr. Heiner Grünwald, Andreas Holländer, Dr. Steffen Howitz, Dr. Tomas Jung, Peter Kästner, Prof. Dr. Holger Kersten, Udo Krohmann, Dr. Per Krüger, Prof. Dr. Horst-Christian Langowski, Wolfram Maass, Dr. Mirko Nitschke, Berthold Ocker, Dr. Andreas Ohl, Davorin Pavic, Prof. Dr. Hans-Ulrich Poll, Prof. Dr. Hans K. Pulker, Ekkehardt Reinhold, Dr. Jana Reinhold, Hartmut Rohrmann, Dr. Dietmar Roth, Prof. Dr. Silvia Roth, Dr. Hermann Schlemm, Burkhard Scholz, Dr. Karsten Schröder, Prof. Dr. Bernd Schultrich, Dr. Manfred Stieber, Dr. Roland Thielsch, Dr. Michael Vergöhl, Prof. Dr. Achim von Keudell, Dr. Thomas von Woedtke, Prof. Dr. Klaus Wandel, Prof. Dr. Klaus-Dieter Weltmann, Dr. Christian Wenzel, Prof. Dr. Klaus Wetzig, Rüdiger Wilberg, Rolf Winkler, Dr. Olaf Zywitzki. Vakuum und Plasma haben in nahezu allen technischen Disziplinen Einzug gehalten und tragen erheblich zu deren wissenschaftlich-technischem Fortschritt bei. Die Beschichtung von Festkörpern im Vakuum und die Modifizierung oberflächennaher Bereiche durch Vakuum- und Plasmaprozesse schaffen Produkte mit neuen Gebrauchswerten. Dies betrifft vor allem den Werkzeugbau und alle Bereiche des Maschinen- und Fahrzeugbaus, das Bauwesen, die Glas-, Keramik- sowie Kunststoffverarbeitung und -oberflächenveredelung, die Elektronik ebenso wie die Lebensmittel-, Bio- oder Medizintechnik. Vakuum- und Plasmaprozesse ermöglichen eine ressourcenschonende Fertigung und verleihen Erzeugnissen völlig neue Eigenschaften wie extreme Härte, reduzierten mechanischen und chemischen Verschleiß, bessere Biokompatibilität, neue optische, elektrische, magnetische sowie ästhetische Eigenschaften. Dabei ist zu bedenken, dass das Potenzial der Vakuum- und Plasmatechnologie bei Weitem noch nicht ausgeschöpft ist. Kurzinhalt Teil I 1. Vakuum- und plasmatechnische Grundlagen 1.1 Vakuumtechnische Grundlagen 1.2 Plasmatechnische Grundlagen 1.3 Grundlagen der vakuumtechnischen Schichtherstellung und Oberflächenmodifizierung 1.4 Grundlagen optischer Schichten 1.5 Oberflächen- und Dünnschichtcharakterisierung 2 Verfahren 2.1 Beschichten durch Verdampfen 2.2 Schichtherstellung durch Sputtern 2.3 Plasmagestützte chemische Dampfphasenabscheidung 2.4 Plasmapolymerisation 2.5 Ätzen mittels Plasmen 2.6 Modifizieren und Beschichten von Polymeroberflächen Kurzinhalt Teil II 3 Vakuum- und plasmatechnische Anwendungen 3.1 Optische Schichten 3.2 Architekturglasbeschichtung 3.3 Wärmedämmverglasungen im Automobilbau 3.4 Großflächige industrielle Mikrowellenplasmabeschichtung für die Fotovoltaik 3.5 Thermische Sonnenkollektoren 3.6 Fotokatalytische Schichten 3.7 Schichtsysteme für die Datenspeicherung und ihre industrielle Herstellung 3.8 Flachbildschirme und Displays 3.9 Reibungs- und verschleißmindernde Schichten 3.10 Plasmagestützte Diffusionsverfahren zur Randschichtbehandlung von Metallen 3.11 Beschichtung von Getränkeflaschen aus Kunststoff 3.12 Dekorative vakuumtechnische Beschichtung 3.13 Herstellung von Bauteilen für die Mikrofluidik 3.14 Niederdruckplasmaprozesse in der Aufbau- und Verbindungstechnik 3.15 Feinreinigung von Oberflächen mit Niederdruckplasmen 3.16 Plasmaprozesse zur Beeinflussung der Biokompatibilität von Oberflächen 3.17 Antimikrobielle Oberflächen durch Plasmabehandlung 3.18 Plasmabehandlung von Textilien und Fasern 3.19 Beschichtung und Funktionalisierung von Pulvern 3.20 Beschichtungen zur Sicherung der elektromagnetischen Verträglichkeit elektronischer Geräte 4 Vakuum- und plasmarelevante Technologien und Nachhaltigkeit 4.1 Nachhaltigkeit als gesellschaftliche Notwendigkeit 4.2 Nachhaltigkeitskriterien und -management 4.3 Nachhaltigkeitsaspekte bei vakuum- und plasmarelevanten Produktionsprozessen 4.4 Nachhaltigkeitsmanagement für die Vakuum- und Plasmatechnologie 4.5 Nachhaltigkeitsbetrachtung zu vakuum- und plasmatechnologisch hergestellten Produkten Stichwortverzeichnis mit mehr als 2000 Verweisen