Viktor Popov, Grigoriy Protopopov

Radiatsoinno-termicheskaya obrabotka MOP-priborov i integral'nykh skhem

Uluchshenie kharakteristik MOP-priborov i integral'nykh skhem

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Produktbeschreibung

V knige rassmotreny osobennosti planarnykh MOP-struktur na osnove kremniya i fizicheskie osobennosti stroeniya plenki oksida kremniya na kremnii. Otmechaetsya rol' mekhanicheskikh napryazheniy v strukture "oksid kremniya-kremniy". Privodyatsya rezul'taty issledovaniya effekta radiatsionno-termicheskoy obrabotki (RTO). Predlagaetsya primenenie RTO dlya vyyavleniya anomal'nykh struktur i dlya diagnostiki tekhnologicheskogo protsessa izgotovleniya izdeliy s MOP-strukturoy.

Produktdetails

• Verlag: Palmarium Academic Publishing
• Seitenzahl: 116
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm
• ISBN-13: 9783659983337
• ISBN-10: 3659983330
• Artikelnr.: 39082434

Autorenporträt

Popov Viktor Dmitrievich, doktor tekhnicheskikh nauk, professor.V 1964 godu okonchil Moskovskiy inzhenerno-fizicheskiy institut (MIFI). Professor kafedry Mikro- i nanoelektroniki Natsional'nogo issledovatel'skogo yadernogo universiteta "MIFI".Protopopov Grigoriy Aleksandrovich, kandidat tekhnicheskikh nauk. V 2005 godu okonchil NIYaU MIFI.Zashchitilsya v 2011 godu.