Caracterización Superficial de Sistemas de interés Nanotecnológico

Caracterización Superficial de Sistemas de interés Nanotecnológico

Una visión desde la ciencia de superficies de materiales con potencial uso en nanotecnología

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Un estudio mediante técnicas de análisis de superficies dos sistemas de interés nanotecnológico: Películas ultradelgadas de Fluoruro de aluminio y Silicio nanoporoso. El primero es un aislador, tecnológicamente útil como resina electrolitográfica, que permite la fabricación de películas de espesor nanométrico. Durante los procedimientos usuales de fabricación de dispositivos "top-down" el bombardeo iónico y electrónico que se utiliza para producir patrones, puede afectar la resina debido a la producción de electrones secundarios. Por otra parte el silicio nanoporoso es un materi...