Damir Muljukov

Sravnenie metodov opredeleniya linejnyh razmerov nanodiapozona

• Broschiertes Buch

Produktbeschreibung

Osnovnym processom v proizvodstve poluprovodnikovyh priborov i mikroshem yavlyaetsya process litografii.Harakteristiki mikroshem zavisyat ot tochnosti izgotovleniya ih minimal'nyh jelementov. Jeto pred#yavlyaet povyshennye trebovaniya k analiticheskim sredstvam kontrolya parametrov struktur v processe ih proizvodstva, a pervuju ochered' ih geometricheskih harakteristik ¿ linejnyh razmerov jelementov. Proekt posvyashhen aktual'noj teme sravnenie opticheskih i jelektronno-mikroskopicheskih metodov izmereniya linejnyh razmerov v proizvodstve integral'nyh mikroshem nanometrovogo diapazona. Byli issledovany struktury metodami rastrovoj jelektronnoj mikroskopii i skatterometrii. V hode analiza rezul'tatov jexperimenta bylo pokazano, chto bolee informativnym i tehnologichnym metodom kontrolya linejnyh razmerov yavlyaetsya metod skatterometrii. Najdeny dispersionnye zavisimosti opticheskih konstant ot dliny volny dlya materialov sloev fotorezista i antiotrazhajushhego pokrytiya. Vybrany optimal'nye parametry processa fotolitografii dlya formirovaniya struktur s proektnymi normami 90 nm. Vo vremya raboty v OAO «NIIMJe» provodilsya bol'shoj ob#em rabot po sovremennym metodam kontrolya linejnyh razmerov.

Produktdetails

• Verlag: LAP Lambert Academic Publishing
• Seitenzahl: 56
• Erscheinungstermin: 7. Dezember 2015
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 4mm
• Gewicht: 102g
• ISBN-13: 9783659805196
• ISBN-10: 365980519X
• Artikelnr.: 44245003

Autorenporträt

Obrazovanie MFTI(GU), Kafedra mikro- i nanojelektroniki. Opyt raboty: Tehnik, OAO "Nauchno-issledovatel'skij institut molekulyarnoj jelektroniki i Mikron" g. Moskva, g. Zelenograd, krupnejshij v Rossii i SNG proizvoditel' i jexporter mikrojelektroniki.