Primenenie ionno-luchewogo trawleniq pri udalenii passiwacii mikroshem
Ispol'zowanie w ramkah tehnologii analiza otkazow integral'nyh mikroshem metodom poslojnogo preparirowaniq
Versandkostenfrei!
Versandfertig in 6-10 Tagen
26,99 €
inkl. MwSt.
PAYBACK Punkte
13 °P sammeln!
V dannoj rabote privedjon analiticheskij obzor otechestvennoj i zarubezhnoj literatury po metodu suhogo vakuumnogo travleniya materialov, predstavlen obzor primenyaemoj metodiki issledovaniya. V rabote predstavleny rezul'taty optimizacii processov reaktivno-ionnogo plazmennogo i ionno-luchevogo travleniya passivacionnyh slojov integral'nyh mikroshem v ramkah tehnologii analiza otkazov. V organizacionno-jekonomicheskoj chasti predstavleny raschjoty stoimosti i celesoobraznosti dannyh issledovanij. Rezul'tatom provedjonnoj raboty stala novaya metodika udaleniya passivacionnyh slojov integral'nyh...
V dannoj rabote privedjon analiticheskij obzor otechestvennoj i zarubezhnoj literatury po metodu suhogo vakuumnogo travleniya materialov, predstavlen obzor primenyaemoj metodiki issledovaniya. V rabote predstavleny rezul'taty optimizacii processov reaktivno-ionnogo plazmennogo i ionno-luchevogo travleniya passivacionnyh slojov integral'nyh mikroshem v ramkah tehnologii analiza otkazov. V organizacionno-jekonomicheskoj chasti predstavleny raschjoty stoimosti i celesoobraznosti dannyh issledovanij. Rezul'tatom provedjonnoj raboty stala novaya metodika udaleniya passivacionnyh slojov integral'nyh mikroshem v ramkah tehnologii analiza otkazov, otlichajushhayasya ot sushhestvujushhih vysokoj stepen'ju planarizacii poverhnosti kristalla integral'noj shemy pri minimal'nom povrezhdenii mezhslojnogo dijelektrika.
Andere Kunden interessierten sich für
