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Untersuchung und Herstellung eines spektral-abstimmbaren Infrarot-Sensors in Silizium-Mikromechanik-Technologie für Anwe
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Dirk Rossberg
Untersuchung und Herstellung eines spektral-abstimmbaren Infrarot-Sensors in Silizium-Mikromechanik-Technologie für Anwe
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Broschiertes Buch
Dissertationsschrift
2., unveränderte Auflage
2019
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