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8. März 2013
Springer Berlin Heidelberg
![Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication. [Springer Series in Materials Science, Vol. 24].](https://bilder.buecher.de/produkte/27/27863/27863942m.jpg "Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication. [Springer Series in Materials Science, Vol. 24].")
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2. Aufl.
21. Oktober 2012
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978-3-642-62965-5
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10673156,978-3-540-64213-8
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7. März 2013
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