V monografii priwedeny trehälektrodnye kremniewye struktury dlq termodatchikow. Dlq issledowaniq byli izgotowleny 2 tipa kremniewyh p-n-struktur, sostoqschih iz äpitaxial'nogo sloq n-tipa, legirowannogo fosforom w obrazcah tipa I i w obrazcah tipa II, kotoryj wyraschen na podlozhke kremniq p-tipa, orientirowannogo w ploskosti i legirowannogo borom.Issledowaniq zaklüchaütsq w razrabotke dwuhurownewoj sistemy uprawleniq processom dozirowaniq pri otbeliwanii tkanej. Pri ätom na nizhnem urowne reshaetsq wopros podderzhaniq tehnologicheskih parametrow opredelennogo znacheniq na priemlemom urowne, a koordinaciq dejstwij tehnologicheskih agregatow osuschestwlqetsq na bolee wysokom urowne.