Nanesenie razlichnyh mnogofunkcional'nyh pokrytij w wakuume, tradicionno primenqwsheesq pri proizwodstwe izdelij mikroälektroniki, älektrowakuumnyh priborow, diskow pamqti w nastoqschee wremq ispol'zuetsq takzhe dlq polucheniq uprochnqüschih, iznosostojkih, opticheskih, teplozaschitnyh, korrozionnostojkih i t. d. pokrytij. Bol'shinstwo iz nih predstawlqüt soboj mnogoslojnye kompozicii, sostoqschie iz chereduüschihsq sloew metallow i ih soedinenij (oxidow, nitridow, karbidow i t. d.), chto opredelqetsq tipom i oblast'ü primeneniq izdeliq. Odnim iz naibolee shiroko ispol'zuemyh wakuumnyh metodow polucheniq oxidow i nitridow metallow qwlqetsq reaktiwnyj metod naneseniq. Vnutri wakuumnoj kamery formiruüt potok molekul metalla, dwizhuschijsq po naprawleniü k izdeliü, i napuskaüt reaktiwnyj rabochij gaz, kotoryj wstupaet w reakciü s molekulami metalla i obrazuet trebuemoe soedinenie. Obespechenie odnorodnosti gazowoj sredy w meste prowedeniq tehnologicheskogo processa qwlqetsq odnoj iz osnownyh zadach pri proektirowanii nowogo tehnologicheskogo oborudowaniq. V knige rassmotreny slozhnosti, woznikaüschie pri reshenii ätoj zadachi i predlozheny puti ee resheniq.
Hinweis: Dieser Artikel kann nur an eine deutsche Lieferadresse ausgeliefert werden.
Hinweis: Dieser Artikel kann nur an eine deutsche Lieferadresse ausgeliefert werden.