Anjli Sharma, Sanäew K. Kanth, Ho Seob Kim

Tehnologiq MJeMS: Podhod k izgotowleniü tonkih älektrostaticheskih linz

Ul'traminiatürnaq mikrokolonka s polewym ämitterom iz 2D-uglerodnyh nitej (mini-SJeM)

• Broschiertes Buch

Produktbeschreibung

S momenta otkrytiq mikrokolonki Changom w 1980 godu, woznik ogromnyj interes k miniatürnym mikrokolonkam iz-za ih razlichnyh primenenij, takih kak prqmaq älektronno-luchewaq litografiq, nedorogoe ustrojstwo, nizkowol'tnaq SJeM i portatiwnaq SJeM iz-za ih wysokoj propusknoj sposobnosti. Kompaktnyj razmer pozwolqet sobirat' mikrokolonki w massiwnuü formu, chto znachitel'no uluchshaet proizwoditel'nost' wizualizacii ili propusknuü sposobnost' litografii. My izgotowili i issledowali tri razlichnye konstrukcii mikrokolonok, w kazhdoj iz kotoryh ispol'zowalas' modificirowannaq ishodnaq linza, razlichnoe rabochee rasstoqnie, ob#ektiw i bez ob#ektiwa. Kachestwo izobrazheniq i tok zonda wseh nowyh izgotowlennyh mikrokolonok byli issledowany. Jelektrostaticheskie linzy byli izgotowleny metodom MJeMS. V kachestwe istochnika izlucheniq dlq ätih kolonok ispol'zowalsq polewoj ämitter 2D-CNT. Nashi rezul'taty pokazali, chto sredi wseh treh struktur mikrokolonok ul'traminiatürizirowannaq mikrokolonka pokazala samyj wysokij tok zonda ~9,5 nA. Ul'traminiatürizirowannaq mikrokolonka mozhet stat' perspektiwnym kandidatom dlq instrumenta litografii sleduüschego pokoleniq, tak kak ee konstrukciq bol'she podhodit dlq integrirowannoj mikrokolonki w masshtabe plastiny, chem obychnaq mikrokolonka.

Produktdetails

• Verlag: Sciencia Scripts
• Seitenzahl: 104
• Erscheinungstermin: 14. Oktober 2021
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 7mm
• Gewicht: 173g
• ISBN-13: 9786204156699
• ISBN-10: 6204156691
• Artikelnr.: 62756706

Autorenporträt

Me he doctorado en Física y Nanociencia en la Universidad Sun Moon de Asan, República de Corea. Mis intereses de investigación son la tecnología MEMS, la fotocatálisis, los nanomateriales, los emisores de campo CNT, etc.