Wai Kin Chim

Semiconductor Device and Failure Analysis

Using Photon Emission Microscopy

• Gebundenes Buch

Produktbeschreibung

Integrierte Schaltkreise werden immer komplexer - deshalb wird es zunehmend schwieriger, Fehler schnell und treffsicher aufzuspüren. Die Photonenemissionsmikroskopie (PEM) ist eine Analysetechnik auf physikalischer Grundlage, die sich als Fehlererkennungsmethode bewährt hat. Dieser Band erläutert alle Aspekte dieser Methode, von der instrumentellen Ausrüstung über spezifische Details der Mikroskope bis hin zu Merkmalen der Photonenemission unter verschiedenen Bedingungen. (11/00)

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Produktdetails

• Verlag: Wiley & Sons
• 1. Auflage
• Seitenzahl: 288
• Erscheinungstermin: 22. Dezember 2000
• Englisch
• Abmessung: 260mm x 183mm x 20mm
• Gewicht: 532g
• ISBN-13: 9780471492405
• ISBN-10: 047149240X
• Artikelnr.: 09286922

Autorenporträt

Wai Kin Chim is the author of Semiconductor Device and Failure Analysis : Using Photon Emission Microscopy , published by Wiley.

Inhaltsangabe

Preface.
Introduction.
Theory of Light Emission in Semiconductors.
Instrumentation Aspects of the Photon Emission Microscope.
Backside Photon Emission Microscopy.
Spectroscopic Photon Emission Microscopy.
Photon Emission from Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors
under Hot-Carrier Stressing.
Photon Emission from Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors
under High-Field Impulse Stressing.
Oxide Degradation and Photon Emission from Metal-Oxide Semiconductor
Capacitor Structures.
Index.

Rezensionen

"This reference details the principles of design, calibration, and use of photon emission microscopy (PEM) as a fault localization technique used for analyzing device reliability and failure." (SciTech Book News Vol. 25, No. 2 June 2001)