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Wir berichten über das Wachstum ultrakleiner InSb-Nanodrähte durch den Dampf-Flüssig-Fest-(VLS)-Mechanismus mittels chemischer Gasphasenabscheidung. Die Wachstumsparameter sind optimiert, um gleichmäßige und ultrakleine Nanodrähte zu erzeugen. Die strukturellen Eigenschaften der gewachsenen NWs werden durch Rasterelektronenmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie untersucht. Rasterelektronenmikroskopische Studien bestätigen den Spitzenwachstumsmodus der Nanodrähte durch den VLS-Mechanismus. Es wird festgestellt, dass die Durchmesser der gewachsenen Nanodrähte 8-10 nm betragen. Morphologische Merkmale werden durch Rasterkraftmikroskopie untersucht. Jeder NW enthält einen Au-Katalysator in Nanogröße am untersten Ende des Drahtes, was den Spitzenwachstumsmodus des VLS-Mechanismus anzeigt.